基于二氧化钒相变微驱动器的设计与构造开题报告

 2023-04-13 09:30:26

1. 研究目的与意义(文献综述包含参考文献)

1.二氧化钒概述钒(Vanadium,原子序数23,VB族元素)是一种过渡族的金属元素,有VO、V2O3、VO2、V2O5等众多氧化物,呈现出了 2、 3、 4及 5等多种价态,本文中全部以介绍VO2为主,此时V为 4价,是一种比较稳定的状态。

截止到目前为止,共发现VO2存在不同的结构类型VO2(R),VO2(M),VO2(A),VO2(B),VO2(C)(I4/mmm),VO2(D),VO2(T)。

自从1959年,Morin发现VO2特殊的金属-绝缘体相变特征之后,科学界引起了广泛重视,并且越来越多的科研人员开始以VO2为钒源制备出纳米薄膜、纳米线等,甚至在此基础上搭配各种化学工艺设计制备出多种器件。

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2. 研究的基本内容、问题解决措施及方案

本课题首先采用气相沉积(CVD)的方法制备VO2纳米线,接着通过磁控溅射技术对VO2纳米线复合以不同的无定形C,构筑构成VO2/C复合结构,最后测试分析VO2/C复合结构的微驱动性能。

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